MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統，它是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的，目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的芯片集成化。

研究機構　　
東南大學MEMS重點實驗室研究重點在不太耗資金，但是前景不錯的MEMS CAD?

北京大學微電子研究院MEMS研究所國內最早提供MEMS代工，有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多個研究方向?

西北工業大學微納米系統實驗室面向國防建設，致力于航空航天機載設備、武器的微型化，集成化、信息化；結合西部大開發，促進高新技術產業化。產、學、研相結合，開展微/納米系統及其相關技術的研究。

清華大學室微電子學研究所微納器件與系統研究室主要研究各種新型微納器件以及由它們構成的系統，研究范圍是：新器件與系統、新技術與工藝、新電路與模型、新材料與結構、新概念與原理。目前有兩個主要研究方向：新型微電子器件與系統，納電子學。

哈工大在MEMS傳感器結構設計以及傳感器接口電路方面有較長時間的積累。

中科院上海微系統研究所基本實現了微型慣性器件MEMS工藝小批量制造能力，實現了4英寸硅片上的高g傳感器批量制造，開展了兩維和三維高g傳感器的研發和具有電自測功能的傳感器中電集團十三所國家863計劃MEMS專項基地，加速度傳感器、陀螺儀、碰撞傳感器、傾角傳感器、振動傳感器、流量傳感器、光開關、光衰減器、光反射鏡、RF開關、微波移相器、微波帶通濾波器?

中電集團二十四所也是模擬IC生產經驗+MEMS工藝開發經驗，擅長MEMS與電路的集成 　　中電集團四十九所已經掌握了如產品的批生產質量控制技術和批生產成本控制等MEMS產業化技術，擁有自主知識產權 。

中電集團五十五所擅長RF MEMS和聲表面波器件 。


上海交通大學微納科學技術研究院非硅MEMS加工 。

中北大學微米納米研究中心MEMS器件及系統，包括微慣性器件的設計與仿真、微氣體檢測傳感器設計、加工及制造 。

大連理工大學微系統研究中心微機密齒輪制造、微操作與微裝配平臺研究以及mems工藝開發等。