在生產半導體等材料的過程中，對于質量有著非常高的要求，常規的手段無法檢測除這些材料存在的問題，而通過超聲掃描顯微鏡則可以把這些材料的細微缺陷給檢測出來，提供微觀層面的檢測結果，對于提升生產品質有著相當大的幫助，下面就來說說它檢測的主要問題。

一、材料的雜質顆粒缺陷

半導體生產工藝復雜，有著很多精細化的要求，在生產過程中比較常見的顆粒雜質問題困擾了很多生產廠家。為使得生產達到對應的質量標準，必須將這種問題檢測出來，使用超聲掃描則可以很快的檢測出這種缺陷，給后續的解決問題帶來了很大的幫助。

二、材料內部裂紋缺陷

超聲掃描的顯微鏡還可以用于各種精密電器元件的檢測，這類產品在生產的過程當中，內部出現裂紋后無法通過常規的手段檢測出來，但是使用超聲掃描技術則可以有效的發現這種內部裂紋缺陷，從而避免了存在缺陷的產品流入到市場當中。

三、材料內部分層缺陷

很多電子元器件，以及半導體都存在內部分層缺陷，同樣的，這種發生在材料內部的細微缺陷很難被常規手段檢測，使用超聲掃描則彌補了這方面的缺失，可以快速且準確的把材料分層缺陷給檢測出來。

作為一種比較特殊的檢測設備，超聲掃描顯微鏡在精密生產領域發揮了相當大的作用，以上就是這種檢測設備的主要優勢體現。